Zgjidhje teknologjike për sistemet e shpërndarjes së gazit me pastërti të lartë për proceset gjysmëpërçuese

Teknologjia e tubacioneve të gazit me pastërti të lartë është një pjesë e rëndësishme e sistemit të furnizimit me gaz me pastërti të lartë, i cili është teknologjia kryesore për të ofruar gazin e kërkuar me pastërti të lartë në pikën e përdorimit dhe ende të ruajë cilësinë e kualifikuar; Teknologjia e tubacioneve të gazit me pastërti të lartë përfshin hartimin e saktë të sistemit, zgjedhjen e pajisjeve dhe aksesorëve, ndërtimin dhe instalimin dhe testimin. Vitet e fundit, kërkesat gjithnjë e më të rrepta për pastërtinë dhe përmbajtjen e papastërtisë së gazrave me pastërti të lartë në prodhimin e produkteve të mikroelektronikës të përfaqësuar nga qarqet e integruara në shkallë të gjerë kanë bërë që teknologjia e tubacioneve të gazrave me pastërti të lartë gjithnjë e më shumë të shqetësuar dhe theksuar. Më poshtë është një përmbledhje e shkurtër e tubave të gazit me pastërti të lartë nga zgjedhja e materialitof ndërtimi, si dhe pranimi dhe menaxhimi i përditshëm.

Llojet e gazrave të zakonshëm

Klasifikimi i gazrave të zakonshëm në industrinë e elektronikës：

Gazra të zakonshëm（Gaz me shumicë）: hidrogjen (h₂₎, azoti (n₂)), oksigjen (o₂), argon (a₂), etj.

Gazra specialitetijanë sih₄ ,PH₃ ,B₂H_{6 ,}A₈H₃ ,CL ,Hcl,CF₄ ,NH_3,Pocl_3, Sih2cl₂ Sihcl3,NH_3,  Bcl_{3 ,}Vend₄ ,Clf₃ ,Bashkëbutor,C₂F_6, N2o,F_2,Hf,HBR SF₆…… etj.

Llojet e gazrave specialë në përgjithësi mund të klasifikohen si gërryesgaz, toksikgaz, i ndezshëmgaz, i djegshëmgaz, inertëgaz, etj. Gazrat gjysmëpërçues të përdorur zakonisht zakonisht klasifikohen si më poshtë.

(i) gërryes / toksikgaz: HCl, bf₃, Wf₆, Hbr, SIH₂Cl₂, Nh₃, Ph₃, CL₂, Bcl₃… Etj.

(ii) Ndezshmëriagaz: H₂, Ch₄, Sih₄, Ph₃, Ash3, sih₂Cl₂, B₂H₆, Ch2f_2,Ch₃F, bashkë… etj.

(iii) djegshmëriagaz: O₂, CL₂, N₂O, nf₃… Etj.

(iv) inertëgaz: N₂, Cf₄, C₂F₆, C₄F_8,Sf₆, Bashkë₂, Ne, kr, ai… etj.

Shumë gazra gjysmëpërçues janë të dëmshëm për trupin e njeriut. Në veçanti, disa nga këto gaze, siç është SIH₄ djegia spontane, për sa kohë që një rrjedhje do të reagojë dhunshëm me oksigjenin në ajër dhe do të fillojë të digjet; dhe hiri₃Shumë toksike, çdo rrjedhje e vogël mund të shkaktojë rrezikun e jetës së njeriut, është për shkak të këtyre rreziqeve të dukshme, kështu që kërkesat për sigurinë e modelit të sistemit janë veçanërisht të larta.

Shtrirja e aplikimit të gazrave  

Si një lëndë e parë e rëndësishme themelore e industrisë moderne, produktet e gazit përdoren gjerësisht, dhe një numër i madh i gazrave të zakonshëm ose gazrave të veçantë përdoren në metalurgji, çelik, naftë, industri kimike, makineri, elektronikë, qelqi, qeramikë, materiale ndërtimi, ndërtim, përpunim të ushqimit, mjekësi dhe sektorë mjekësorë. Zbatimi i gazit ka një ndikim të rëndësishëm në teknologjinë e lartë të këtyre fushave në veçanti, dhe është gazi i tij i domosdoshëm i lëndës së parë ose gazi i procesit. Vetëm me nevojat dhe promovimin e sektorëve të ndryshëm të rinj industrialë dhe shkencës dhe teknologjisë moderne, produktet e industrisë së gazit mund të zhvillohen nga kërcime dhe kufij për sa i përket shumëllojshmërisë, cilësisë dhe sasisë.

Aplikimi i gazit në mikroelektronikë dhe industri gjysmëpërçuese

Përdorimi i gazit ka luajtur gjithmonë një rol të rëndësishëm në procesin e gjysmëpërçuesit, veçanërisht procesi i gjysmëpërçuesit është përdorur gjerësisht në industri të ndryshme, nga ULSI tradicionale, TFT-LCD deri në industrinë aktuale të mikro-elektro-mekanike (MEMS), të gjitha përdorin të ashtuquajturin procesi gjysmëpërçues si procesi prodhues i produkteve. Pastërtia e gazit ka një ndikim vendimtar në performancën e përbërësve dhe rendimenteve të produktit, dhe siguria e furnizimit me gaz është e lidhur me shëndetin e personelit dhe sigurinë e operacioneve të bimëve.

Rëndësia e tubacioneve me pastërti të lartë në transportin e gazit me pastërti të lartë

Në procesin e shkrirjes dhe bërjes së çelikut të pandryshkshëm, rreth 200g gaz mund të përthithet për ton. Pas përpunimit të çelikut të pandryshkshëm, jo ​​vetëm sipërfaqja e tij ngjitëse me ndotës të ndryshëm, por edhe në grilën e saj metalike gjithashtu thithi një sasi të caktuar gazi. Kur ka rrjedhën e ajrit përmes tubacionit, metali thith kjo pjesë e gazit do të hyjë përsëri në rrjedhën e ajrit, duke ndotur gazin e pastër. Kur rrjedhja e ajrit në tub është rrjedhë e ndërprerë, tubi adsorbon gazin nën presion, dhe kur rrjedha e ajrit ndalon të kalojë, gazi i adsorbuar nga tubi formon një rënie presioni për të zgjidhur, dhe gazi i zgjidhur gjithashtu hyn në gaz të pastër në tub si papastërti. Në të njëjtën kohë, adsorbimi dhe rezolucioni përsëriten, në mënyrë që metali në sipërfaqen e brendshme të tubit të prodhojë gjithashtu një sasi të caktuar pluhuri, dhe kjo grimcë pluhuri metalik gjithashtu ndot gazin e pastër brenda tubit. Kjo karakteristikë e tubit është thelbësore për të siguruar pastërtinë e gazit të transportuar, i cili kërkon jo vetëm një butësi shumë të lartë të sipërfaqes së brendshme të tubit, por edhe një rezistencë të lartë të veshjes.

Kur përdoret gazi me performancë të fortë korrozive, tubat çelik inox rezistent ndaj korrozionit duhet të përdoren për tubacione. Përndryshe, tubi do të prodhojë pika korrozioni në sipërfaqen e brendshme për shkak të gërryerjes, dhe në raste serioze, do të ketë një zonë të madhe të zhveshjes metalike ose edhe perforimit, i cili do të kontaminojë gazin e pastër që do të shpërndahet.

Lidhja e tubacioneve të transmetimit dhe shpërndarjes me pastërti të lartë dhe të lartë të transmetimit të gazit me ritme të mëdha të rrjedhës.

Në parim, të gjithë ata janë bashkuar, dhe tubat e përdorur kërkohet të mos kenë ndryshime në organizim kur zbatohet saldimi. Materialet me një përmbajtje shumë të lartë të karbonit i nënshtrohen përshkueshmërisë së ajrit të pjesëve të salduara kur saldimi, gjë që bën depërtimin e ndërsjellë të gazrave brenda dhe jashtë tubit dhe shkatërron pastërtinë, thatësinë dhe pastërtinë e gazit të transmetuar, duke rezultuar në humbjen e të gjitha përpjekjeve tona.

Si përmbledhje, për gazin me pastërti të lartë dhe tubacionin e transmetimit të gazit special, është e nevojshme të përdoret një trajtim i veçantë i tubit të çelikut të pandryshkshëm me pastërti të lartë, për të bërë sistemin e tubacionit me pastërti të lartë (përfshirë tubat, pajisjet, valvulat, VMB, VMP) në shpërndarjen e gazit me pastërti të lartë zë një mision jetësor.

Koncepti i përgjithshëm i teknologjisë së pastër për tubacionet e transmetimit dhe shpërndarjes

Transmetimi i trupit të gazit shumë të pastër dhe të pastër me tubacione do të thotë që ekzistojnë kërkesa ose kontrolle të caktuara për tre aspekte të gazit që duhet të transportohen.

Pastërtia e gazit: Përmbajtja e atmosferës së papastërtisë në pastërtinë e GGAS: Përmbajtja e atmosferës së papastërtisë në gaz, zakonisht shprehet si përqindje e pastërtisë së gazit, siç është 99,9999%, e shprehur gjithashtu si raporti i vëllimit të përmbajtjes së atmosferës së papastërtisë PPM, PPB, PPT.

Thatësia: Sasia e lagështisë së gjurmëve në gaz, ose sasia e quajtur lagështi, e shprehur zakonisht për sa i përket pikës së vesës, siç është pika e vesës së presionit atmosferik -70. C.

Pastërtia: Numri i grimcave ndotës të përfshira në gaz, madhësia e grimcave të μm, sa grimca/m3 për të shprehur, për ajrin e kompresuar, zakonisht shprehet edhe në lidhje me sa mg/m3 mbetje të ngurta të pashmangshme, gjë që mbulon përmbajtjen e vajit.

Klasifikimi i madhësisë së ndotësve: grimcat ndotëse, kryesisht i referohen pastrimit të tubacionit, veshin, gërryerjen e gjeneruar nga grimcat metalike, grimcat e blozës atmosferike, si dhe mikroorganizmat, fagët dhe pikat e kondensimit të gazit që përmbajnë lagështi, etj., Sipas madhësisë së madhësisë së grimcave të tij ndahen në

a) Grimcat e mëdha - madhësia e grimcave mbi 5 μm

b) Grimca-Diametri i materialit midis 0,1 μm-5μm

c) Grimcat ultra-mikro-madhësia e grimcave më pak se 0.1 μm.

Për të përmirësuar aplikimin e kësaj teknologjie, për të qenë në gjendje të kuptoni perceptimin e madhësisë së grimcave dhe njësive μM, një grup i statusit specifik të grimcave është dhënë për referencë

Më poshtë është një krahasim i grimcave specifike