Zgjidhje teknologjike për sistemet e shpërndarjes së gazit me pastërti të lartë për proceset gjysmëpërçuese

Teknologjia e tubacioneve të gazit me pastërti të lartë është një pjesë e rëndësishme e sistemit të furnizimit me gaz me pastërti të lartë, e cila është teknologjia kryesore për të ofruar gazin e kërkuar me pastërti të lartë në pikën e përdorimit dhe për të ruajtur ende cilësinë e kualifikuar;Teknologjia e tubacioneve të gazit me pastërti të lartë përfshin projektimin e saktë të sistemit, zgjedhjen e pajisjeve dhe aksesorëve, ndërtimin dhe instalimin dhe testimin.Vitet e fundit, kërkesat gjithnjë e më strikte për përmbajtjen e pastërtisë dhe papastërtisë së gazeve me pastërti të lartë në prodhimin e produkteve mikroelektronike të përfaqësuara nga qarqe të integruara në shkallë të gjerë kanë bërë që teknologjia e tubacioneve të gazeve me pastërti të lartë të jetë gjithnjë e më e shqetësuar dhe e theksuar.Më poshtë është një përmbledhje e shkurtër e tubacioneve të gazit me pastërti të lartë nga përzgjedhja e materialitof ndërtimi, si dhe pranimi dhe menaxhimi i përditshëm.

Llojet e gazrave të zakonshëm

Klasifikimi i gazrave të zakonshëm në industrinë elektronike：

Gazet e zakonshme(Gaz me shumicë）: hidrogjen (H₂₎, nitrogjen (N₂), oksigjen (O₂), argoni (A₂), etj.

Gazrat specialejanë SiH₄ ,PH₃ ,B₂H_{6 ,}A₈H₃ ,CL ,HCL,CF₄ ,NH_3,POCL_3, SIH2CL₂ SIHCL3,NH_3,  BCL_{3 ,}SIF₄ ,CLF₃ ,CO,C₂F_6, N2O,F_2,HF,HBR SF₆…… etj.

Llojet e gazeve speciale në përgjithësi mund të klasifikohen si gërryesgazit, toksikegazit, i ndezshëmgazit, i djegshëmgazit, inertegazit, etj. Gazrat gjysmëpërçues të përdorur zakonisht klasifikohen si më poshtë.

(i) Korrozive/toksikegazit: HCl , BF₃, WF₆, HBr , SiH₂Cl₂, NH₃, PH₃, Cl₂, BCl₃…etj.

(ii) Ndezshmëriagazit: H₂, CH₄, SiH₄, PH₃, AsH3, SiH₂Cl₂, B₂H₆, CH2F_2,CH₃F, CO…etj.

(iii) djegshmëriagazit: O₂, Cl₂, N₂O, NF₃… etj.

(iv) Inertegazit: N₂, CF₄, C₂F₆, C₄F_8,SF₆, CO₂, Ne, Kr, Ai...etj.

Shumë gazra gjysmëpërçues janë të dëmshëm për trupin e njeriut.Në veçanti, disa nga këto gazra, si SiH₄ djegia spontane, për aq kohë sa një rrjedhje do të reagojë dhunshëm me oksigjenin në ajër dhe do të fillojë të digjet;dhe AsH₃shumë toksike, çdo rrjedhje e lehtë mund të shkaktojë rrezik për jetën e njeriut, kjo është për shkak të këtyre rreziqeve të dukshme, kështu që kërkesat për sigurinë e dizajnit të sistemit janë veçanërisht të larta.

Fusha e aplikimit të gazeve  

Si një lëndë e parë e rëndësishme bazë e industrisë moderne, produktet e gazit përdoren gjerësisht, dhe një numër i madh i gazrave të zakonshëm ose gazeve speciale përdoren në metalurgji, çelik, naftë, industri kimike, makineri, elektronikë, qelq, qeramikë, materiale ndërtimi, ndërtim. , sektorët e përpunimit të ushqimit, mjekësisë dhe mjekësisë.Aplikimi i gazit ka një ndikim të rëndësishëm në teknologjinë e lartë të këtyre fushave në veçanti, dhe është lëndë e parë e tij e domosdoshme gazi ose gazi i procesit.Vetëm me nevojat dhe promovimin e sektorëve të ndryshëm të rinj industrialë dhe shkencës dhe teknologjisë moderne, produktet e industrisë së gazit mund të zhvillohen me hapa të mëdhenj në aspektin e shumëllojshmërisë, cilësisë dhe sasisë.

Aplikimi i gazit në industrinë e mikroelektronikës dhe gjysmëpërçuesve

Përdorimi i gazit ka luajtur gjithmonë një rol të rëndësishëm në procesin e gjysmëpërçuesve, veçanërisht procesi i gjysmëpërçuesve është përdorur gjerësisht në industri të ndryshme, nga ULSI tradicionale, TFT-LCD deri te industria aktuale mikro-elektro-mekanike (MEMS), të gjitha. të cilat përdorin të ashtuquajturin proces gjysmëpërçues si proces të prodhimit të produkteve.Pastërtia e gazit ka një ndikim vendimtar në performancën e komponentëve dhe rendimentit të produktit, dhe siguria e furnizimit me gaz lidhet me shëndetin e personelit dhe sigurinë e funksionimit të impiantit.

Rëndësia e tubacioneve me pastërti të lartë në transportin e gazit me pastërti të lartë

Në procesin e shkrirjes dhe bërjes së materialit prej çeliku inox, mund të absorbohen rreth 200 g gaz për ton.Pas përpunimit të inoksit, jo vetëm sipërfaqja e tij ngjitet me ndotës të ndryshëm, por edhe në rrjetën e saj metalike thith një sasi të caktuar gazi.Kur ka rrjedhje ajri përmes tubacionit, metali që thith këtë pjesë të gazit do të rihyjë në rrjedhën e ajrit, duke ndotur gazin e pastër.Kur fluksi i ajrit në tub është rrjedhë e ndërprerë, tubi thith gazin nën presion dhe kur fluksi i ajrit ndalon së kaluari, gazi i absorbuar nga tubi formon një rënie presioni për t'u zgjidhur, dhe gazi i zgjidhur gjithashtu hyn në gazin e pastër në tub. si papastërti.Në të njëjtën kohë, përthithja dhe rezolucioni përsëriten, kështu që metali në sipërfaqen e brendshme të tubit gjithashtu prodhon një sasi të caktuar pluhuri, dhe grimcat e pluhurit të këtij metali ndotin edhe gazin e pastër brenda tubit.Kjo karakteristikë e tubit është thelbësore për të siguruar pastërtinë e gazit të transportuar, i cili kërkon jo vetëm një lëmim shumë të lartë të sipërfaqes së brendshme të tubit, por edhe një rezistencë të lartë ndaj konsumit.

Kur përdoret gazi me performancë të fortë gërryese, për tubacionet duhet të përdoren gypa çeliku inox rezistent ndaj korrozionit.Përndryshe, tubi do të prodhojë njolla korrozioni në sipërfaqen e brendshme për shkak të korrozionit, dhe në raste të rënda, do të ketë një zonë të madhe zhveshjeje apo edhe shpimi të metalit, gjë që do të ndotë gazin e pastër që do të shpërndahet.

Lidhja e tubacioneve të transmetimit dhe shpërndarjes së gazit me pastërti të lartë dhe pastërti të lartë me prurje të mëdha.

Në parim, të gjitha ato janë të salduara dhe tubat e përdorur kërkohet të mos kenë ndryshim në organizim kur aplikohet saldimi.Materialet me përmbajtje shumë të lartë karboni i nënshtrohen përshkueshmërisë ajrore të pjesëve të salduara gjatë saldimit, gjë që bën depërtimin e ndërsjellë të gazeve brenda dhe jashtë tubit dhe shkatërron pastërtinë, thatësinë dhe pastërtinë e gazit të transmetuar, duke rezultuar në humbjen e të gjitha përpjekjet tona.

Si përmbledhje, për gazsjellësin e pastërtisë së lartë dhe tubacionet speciale të transmetimit të gazit, është e nevojshme të përdoret një trajtim i veçantë i tubit inox me pastërti të lartë, për të krijuar një sistem tubacioni me pastërti të lartë (përfshirë tubacione, pajisje, valvola, VMB, VMP) në Shpërndarja e gazit me pastërti të lartë zë një mision jetik.

Koncepti i përgjithshëm i teknologjisë së pastër për tubacionet e transmetimit dhe shpërndarjes

Transmetimi i trupit të gazit shumë të pastër dhe të pastër me tubacione do të thotë se ka kërkesa ose kontrolle të caktuara për tre aspekte të gazit që do të transportohet.

Pastërtia e gazit: Përmbajtja e atmosferës së papastërtisë në pastërtinë gGas: Përmbajtja e atmosferës së papastërtisë në gaz, zakonisht e shprehur si përqindje e pastërtisë së gazit, si 99,9999%, e shprehur gjithashtu si raporti vëllimor i përmbajtjes së papastërtive të atmosferës ppm, ppb, ppt.

Thatësi: sasia e gjurmës së lagështisë në gaz, ose sasia e quajtur lagështi, zakonisht e shprehur në terma të pikës së vesës, siç është pika e vesës me presion atmosferik -70.C.

Pastërtia: numri i grimcave të ndotësve të përmbajtura në gaz, madhësia e grimcave prej μm, sa grimca/M3 duhet të shprehen, për ajrin e kompresuar, zakonisht shprehet edhe në termat e sa mg/m3 mbetjesh të ngurta të pashmangshme, e cila mbulon përmbajtjen e vajit. .

Klasifikimi i madhësisë së ndotësve: grimcat ndotëse, kryesisht i referohen pastrimit të tubacionit, konsumit, korrozionit të krijuar nga grimcat metalike, grimcat atmosferike të blozës, si dhe mikroorganizmat, fagët dhe pikat e kondensimit të gazit që përmbajnë lagështi, etj., sipas madhësisë së madhësisë së grimcave të saj. ndahet në

a) Grimcat e mëdha – madhësia e grimcave mbi 5μm

b) Grimca – diametri i materialit ndërmjet 0.1μm-5μm

c) Ultra-mikro grimcat – madhësia e grimcave më e vogël se 0.1μm.

Për të përmirësuar aplikimin e kësaj teknologjie, për të qenë në gjendje për të kuptuar perceptues të madhësisë së grimcave dhe njësive μm, një grup i statusit specifik të grimcave është dhënë për referencë.

Më poshtë është një krahasim i grimcave specifike