Ndërsa rritet tregu gjysmëpërçues, standardet për pastërtinë dhe saktësinë bëhen më të rrepta. Një nga faktorët përcaktues në cilësinë e prodhimit gjysmëpërçues është gazrat e përdorur në proces. Këto gazra luajnë shumë role në procesin e prodhimit, duke përfshirë:
Kontrolli i procesit të precizionit
Parandalimi i ndotjes
Përmirësimi i pasurisë metalurgjike
Për të kryer këto role në mënyrë efektive, sistemi i furnizimit dhe shpërndarjes së gazit duhet të jetë efikas. Dizajni i sistemeve të trajtimit të gazit të përdorura në prodhimin gjysmëpërçues duhet të mbështetet nga komponentë të fortë dhe asamble të personalizuara për të siguruar një prodhim të besueshëm dhe me cilësi të lartë të gjysmëpërçuesve.
Gazrat e përdorur në prodhimin gjysmëpërçues
Procesi i prodhimit të gjysmëpërçuesve kërkon përdorimin e gazrave të ndryshëm në faza të ndryshme të procesit.
Ndërsa gazrat e zakonshëm si azoti, hidrogjeni, argoni dhe heliumi mund të përdoren në formën e tyre të pastër, procese të caktuara mund të kërkojnë përzierje të specializuara. Silanet ose Siloxanes, hexafluorides, halidet dhe hidrokarburet janë disa nga gazrat specialiteti të përdorura në prodhimin gjysmëpërçues. Shumë nga këto gaze mund të jenë të rrezikshme ose shumë reaktive, duke krijuar sfida në zgjedhjen dhe hartimin e përbërësve për sistemet e gazit.
Këtu janë disa shembuj:
\ Hidrogjeni dhe heliumi lehtë mund të rrjedhin nga sistemet e tubacioneve dhe montimit për shkak të madhësisë dhe peshës së tyre të vogël atomike.
\ Silanet janë shumë të ndezshme dhe mund të djegin spontanisht (autoignite) në ajër.
\ Difluoridi i azotit të përdorur në fazat e depozitimit, etching dhe pastrimit të dhomës bëhet një gaz i fuqishëm serë kur lëshohet në mjedis.
\ Fluori i hidrogjenit (gazi i etiketuar) është shumë korroziv ndaj tubacioneve metalike.
\ Trimetilgallium dhe amoniak mund të jenë të vështira për t'u trajtuar - luhatjet e vogla në kërkesat e tyre të temperaturës dhe presionit mund të ndikojnë në procesin e depozitimit.
Kontrollimi i kushteve të procesit për të minimizuar efektet negative të këtyre gazrave duhet të jetë një përparësi kryesore gjatë hartimit të sistemit. Equallyshtë po aq e rëndësishme të përdorni përbërësit me cilësi më të lartë siç janë valvulat e diafragmës AFK gjatë procesit të ndërtimit.
Adresimi i sfidave të projektimit të sistemit
Gazrat e shkallës gjysmëpërçuese janë në shumicën e rasteve të pastërtisë së lartë dhe sigurojnë kushte inerte ose përmirësojnë reaksione në faza të ndryshme të procesit të prodhimit, siç janë gazrat e etch dhe depozitimi. Rrjedhja ose ndotja e gazrave të tillë mund të ketë efekte negative. Prandaj, është kritike për përbërësit e sistemit që përdoren për të mbyllur hermetikisht dhe rezistent ndaj korrozionit, si dhe të kenë një përfundim të lëmuar të sipërfaqes (lustrim elektrolitik) për të siguruar që nuk ka mundësi të kontaminimit dhe se mund të mbahet një nivel jashtëzakonisht i lartë i pastërtisë.
Për më tepër, disa nga këto gaze mund të nxehen ose ftohen për të arritur kushtet e dëshiruara të procesit. Komponentët e izoluar mirë sigurojnë kontrollin e temperaturës, i cili është thelbësor për performancën efikase të produktit përfundimtar.
Nga hyrja e burimit deri në pikën e përdorimit, gama e gjerë e përbërësve e AFK-së mbështesin pastërtinë ultra të lartë, temperaturën, presionin dhe kontrollin e rrjedhës që kërkohet në dhomat e pastrimit të gjysmëpërçuesit dhe dhomat e vakumit.
Sistemet e dizajnuara me përbërës të cilësisë në fabrikat gjysmëpërçuese
Roli i përbërësve të cilësisë dhe optimizimi i dizajnit është thelbësor për kontrollin e saktë dhe prodhimin e sigurt të gjysmëpërçuesve. Komponentët e përdorur duhet të jenë të fuqishëm dhe pa rrjedhje për të përputhur me kushtet e ndryshme të procesit të kërkuara në faza të ndryshme të prodhimit.AFK Valvulat me cilësi të lartë, pajisjet, rregullatorët, tubacionet dhe kllapat e vulosjes karakterizohen nga karakteristikat e mëposhtme:
Pastërti ultra e lartë
Vula pa rrjedhje
Izolimi i kontrolluar nga temperatura
Kontroll presioni
Rezistencë ndaj korrozionit
Trajtimi i lustrimit elektrolitik
Koha e postimit: Tetor-09-2023