Përdorimi i gazrave në industrinë e gjysmëpërçuesit daton që nga fillimi i viteve 1950 deri në 1960. Gjatë procesit të prodhimit gjysmëpërçues, gazrat përdoren kryesisht për të pastruar dhe mbrojtur materialet gjysmëpërçuese për të siguruar pastërtinë dhe cilësinë e tyre. Ndër gazrat më të përdorur shpesh janë azoti dhe hidrogjeni.
Ndërsa teknologjia gjysmëpërçuese e zhvilluar dhe proceset e prodhimit vazhduan të përmirësohen, kërkesa për gazra u rrit. Në vitin 1970, zhvillimi i mëtutjeshëm i teknologjisë së prodhimit gjysmëpërçues, aplikimi i gazrave në proceset kryesore siç janë gradualisht etiketimi dhe depozitimi i filmave të hollë, dhe gazrat e fluorit (p.sh. SF6) dhe oksigjeni u përdorën zakonisht me gazra dhe depozitim. 1980 pa një rritje të mëtejshme të kërkesës për gazra me zhvillimin e qarqeve të integruara dhe rritjen e kërkesës për to. Hidrogjeni është përdorur gjerësisht në procesin e prodhimit, përfshirë pjekjen e hidrogjenit dhe depozitimin e avullit të hidrogjenit. Dhe nga viti 1990 e deri më sot, kërkesa për gazra me pastërti të lartë dhe gazra specifike është rritur pasi madhësitë e pajisjes gjysmëpërçuese kanë vazhduar të tkurren dhe janë futur procese të reja. Për shembull, aplikimi i litografisë ekstreme ultravjollcë (EUV) kërkon përdorimin e gazrave jashtëzakonisht të pastër të lartë si azoti dhe hidrogjeni.
Gazi gjysmëpërçues vazhdon të rritet me zhvillimin e produkteve të lidhura të nxitura nga gjithnjë e më shumë produkte, ndërsa gazi gjithashtu i përket burimit të rrezikut, kështu që produktet e përdorura për dekompresimin e gazit, produktet e zbulimit të gazit dhe parandalojnë produktet e rrjedhjes së gazit janë si më poshtë: siç janë rregullatorët e presionit, valvulat e gazit, matëset e presionit të gazit, detektori i rrjedhjes së gazit, etj.
Rregullatorët e presionit: Rregullatorët e presionit janë pajisje të përdorura për të kontrolluar presionin e gazit. Ato zakonisht përbëhen nga një valvul rregullatori dhe një sensor presioni. Rregullatorët e presionit marrin një hyrje të gazit me presion të lartë dhe stabilizojnë presionin e gazit të daljes duke rregulluar valvulën për të përmbushur kërkesat specifike të aplikimit. Rregullatorët e presionit përdoren gjerësisht në fusha të tilla si industria, prodhimi dhe laboratorët, si dhe në industrinë e gjysmëpërçuesit, ndër të tjera, për të siguruar stabilitetin dhe sigurinë e furnizimit me gaz.
Valvulat e gazit: Valvulat e gazit përdoren për të kontrolluar rrjedhën e gazrave dhe për të mbyllur pasazhet e gazit. Ata zakonisht kanë një funksion të ndezur/off që hapet ose mbyll rrjedhën e gazit. Ekzistojnë lloje të ndryshme të valvulave të gazit, duke përfshirë valvulat manuale, valvulat elektrike dhe valvulat pneumatike. Ato përdoren gjerësisht në sistemet e gazit për të kontrolluar rrjedhën, presionin dhe shkallën e rrjedhës së gazrave.
Matës i presionit të gazit: Matjet e presionit të gazit përdoren për të matur nivelin e presionit të një gazi. Ato zakonisht instalohen në vende kritike në sistemet e gazit për të monitoruar ndryshimet e presionit dhe për të siguruar që ato janë brenda kufijve të sigurt. Matëset e presionit të gazit përdoren gjerësisht në industri, prodhim dhe laboratorë, dhe gjithashtu është përfshirë industria gjysmëpërçuese.
Detektorët e rrjedhjes së gazit: Detektorët e rrjedhjes së gazit përdoren për të zbuluar rrjedhjet në sistemet e gazit. Ata zbulojnëPrania e rrjedhjeve të gazit dhe tingëllon një alarm në mënyrë që të mund të ndërmerret veprimi në kohë për të parandaluar aksidentet e rrjedhjes. Detektorët e rrjedhjes së gazit përdoren gjerësisht në aplikimet industriale, kimike, nafte dhe gazi, dhe gjithashtu është përfshirë industria e gjysmëpërçuesit.
Koha e postimit: Shkurt-20-2024