Pajisjet e trajtimit të gazit të bishtit mund të trajtojnë gazrat e përdorur në proceset e etching dhe proceset kimike të depozitimit të avullit në gjysmëpërçuesin, kristalin e lëngshëm dhe industrinë e energjisë diellore, duke përfshirë SIH4, SIH2CL2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O, dhe kështu.
Metoda e trajtimit të gazit të shkarkimit
Sipas karakteristikave të trajtimit të gazit të shkarkimit, trajtimi mund të ndahet në katër lloje të trajtimit:
1. Lloji i larjes së ujit (trajtimi i gazrave gërryes)
2. Lloji oksidues (që ka të bëjë me gazra të djegshëm dhe toksikë)
3. Adsorbimi (sipas llojit të materialit të adsorbimit për t'u marrë me gazin përkatës të shkarkimit).
4. Lloji i djegies së plasmës (të gjitha llojet e gazrave të shkarkimit mund të trajtohen).
Do lloj trajtimi ka avantazhet dhe disavantazhet e veta, si dhe fushën e tij të aplikimit. Kur metoda e trajtimit është larja e ujit, pajisjet janë të lira dhe të thjeshta, dhe mund të trajtojnë vetëm gazra të tretshëm në ujë; Gama e aplikimit të llojit elektrik të larjes së ujit është më i lartë se ai i llojit të larjes së ujit, por kostoja e funksionimit është e lartë; Lloji i thatë ka efikasitet të mirë të trajtimit, dhe nuk është i zbatueshëm për rrjedhën e gazit që është e lehtë për tu bllokuar ose rrjedh.
Kimikatet dhe nënproduktet e tyre që përdoren zakonisht në industrinë e gjysmëpërçuesit mund të kategorizohen sipas vetive të tyre kimike dhe vargjeve të tyre të ndryshme:
1. Gazrat e ndezshëm si SIH4H2, etj.
2. Gazrat toksikë si ASH3, PH3, etj.
3. Gazrat gërryes si HF, HCl, etj.
4. Gazrat e serrës si CF4, NF3, etj.
Meqenëse katër gazrat e mësipërm janë të dëmshëm për mjedisin ose trupin e njeriut, duhet të parandalojnë emetimin e tij të drejtpërdrejtë në atmosferë, kështu që bima e përgjithshme e gjysmëpërçuesit është instaluar me një sistem të madh të centralizuar të trajtimit të gazit të shkarkimit, por ky sistem është vetëm pastrimi i ujit, kështu që aplikimi i tij është i kufizuar në gazrat e tronditur në ujë në distanca të gjata, dhe nuk mund të merret me divizionin gjithnjë në ndryshim dhe delikate të divizionit të gjysmëpërdorimit të gazit të shkarkimit të shter. Prandaj, është e nevojshme të zgjidhni dhe përputheni pajisjet përkatëse të trajtimit të gazit të shkarkimit sipas karakteristikave të gazit që rrjedhin nga secili proces në mënyrë që të zgjidhen problemin e gazit të shkarkimit në një mënyrë të vogël. Ndërsa zona e punës është kryesisht larg sistemit qendror të trajtimit të gazit të shkarkimit, shpesh për shkak të karakteristikave të gazit çojnë në kristalizim ose akumulim të pluhurit në tubacion, duke rezultuar në bllokimin e tubacionit që çon në rrjedhje të gazit, dhe në raste serioze, madje të shkaktojë një shpërthim, nuk mund të sigurojë që siguria e punës së stafit të sitit. Prandaj, në zonën e punës duhet të konfiguroni një pajisje të vogël për trajtimin e gazit të shkarkimit të përshtatshëm për karakteristikat e gazit të procesit, në mënyrë që të zvogëlohet gazi i ndenjur i shkarkimit në zonën e punës, për të siguruar sigurinë e personelit.
Koha e postimit: Gusht-10-2023